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            1. CIF中試型等離子清洗機CPC-12系列

                CIF推出全新一代CPC系列桌面型、可中試生產、模擬生產條件的等離子體清洗設備,幾乎具備等離子體清洗設備所有的功能。具有較大的腔體尺寸和樣品處理面積,使用成本低,性價比高,易維護,處理快速高效,特別適合于大學,科研院所和光電企業實驗室小批量中試生產。

                更新時間:2023-07-24 10:54:08
              1. 詳細信息

              產品特點:

              PLC工控機控制整個清洗過程,全自動進行。

              7寸彩色觸摸屏互動操作界面,實時工作參數狀態直觀顯示。

              手動、自動兩種工作模式。

              數字流量計控制,控制更準確

              符合人體功能學的60度傾角操作界面設計,操作方便,界面友好。

              頂置真空倉,上開蓋設計下壓式鉸鏈開關方式

              上置式360度自由水平取放樣品托盤設計,符合人體功能學,操作更方便。

              有效處理面積大,可處理8寸硅片去膠等應用。

              可處理不同幾何形狀、表面不同粗糙程度的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等樣品,進行清洗和改性。

              安全保護,倉門打開,自動關閉電源。

              技術參數:

              型號

              CPC-12

              CPC-12plus

              艙體尺寸

              H120xΦ370mm ?

              H120xΦ370mm

              艙體容積

              12.8L

              12.8L

              射頻電源

              40KHz

              13.56MHz

              匹配器

              自動匹配

              自動匹配

              射頻功率

              10-300W可調

              10-300W可調

              氣體控制

              質量流量計(MFC)(標配單路,可選雙路)

              最大處理尺寸

              Φ370mm圓盤

              產品尺寸

              L618xW520xH465mm

              包裝尺寸

              L750xW640xH570mm

              時間設定

              1-99分59秒

              真空泵

              抽速約8m3/h

              氣體穩定時間

              1分鐘

              真空度

              100pa以內

              AC220V 50-60Hz??

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